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更新时间：2026-05-22sakaguchi坂口电热POCO硅片假晶圆
sakaguchi坂口电热POCO硅片假晶圆
POCO的SUPER SiC假晶圆是一款下一代产品，通过“转化工艺"将高纯度、高精度的新碳转化为SiC。
它在耐热和耐腐蚀方面表现出色，允许在晶圆工艺中多次使用。
| 密度 （g/cm³） | 热膨胀系数 （X10-6/°C） | 热导率 （W/M-kWhK） | 抗弯强度 （MPa） | 青年军衔 （MPa） | 缝隙表面处理 （Raμm） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2.56 | 4.9 | 44.1 | 120 | 2×105 | 0.41 |
| 晶圆路径 | 4英寸（100毫米） | 5英寸（125毫米） | 6英寸（150毫米） | 8英寸（200毫米） | 12英寸（300毫米） |
|---|---|---|---|---|---|
| 晶圆厚度 | 0.533毫米 0.633毫米 | 0.635毫米 | 0.635毫米 0.637毫米 | 0.724毫米 | 0.775毫米 |
| 表层 | （1）无SiC涂层，（2）SiC涂层 | ||||
| 奥里普拉 | （1）无orifura（2）含orihula。 | ||||
与清洁液的减重速率比较：
富硝酸清洗液（HF：NO3：H2O = 1：1：1）
本文产品技术资料均来源于日本坂口电热株式会社原厂资料。
我司深圳电商商业股份有限公司为坂口电热中国区正规授权代理商，可提供本产品及坂口电热全系列加热产品的原厂直供、选型适配、定制开发与全流程技术支持，所有产品均为原厂产品，可溯源可查验。
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