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更新时间:2026-05-22sakaguchi坂口电热透明石英产品
sakaguchi坂口电热透明石英产品
我们使用透明石英管玻璃制造针对各种应用的石英加工产品,几乎没有气泡。

所有商品均为现点定制。
透明石英是一种由天然石英制成的锭,通过酸和氢溶解制成,具有几乎无气泡、高纯度、耐热、耐酸性以及优异绝缘性能。
它被用于半导体工艺中氧化扩散工艺中的热处理芯管和晶圆板,以及石英浴和各种石英加工产品。
垂直与水平半导体晶圆板
晶圆盒
石英浴
加热器支持
各种加工产品
石英加工产品的性能
光透射率(透光距离10毫米)
| 矩形 | 圆形 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 宽度 | 厚度 | 长度 | 外径 | 内径 | 长度 |
| 500毫米 | 170毫米 | - | 350毫米 | - | 2200毫米 |
| 成分 | 微量分子 | 成分 | 微量分子 |
|---|---|---|---|
| 阿尔 | 17 | Ca | 0.8 |
| Cr | < 0.01 | Cu | 0.01 |
| Fe | 0.2 | K | 0.5 |
| 李 | 0.7 | MG | 0.05 |
| 明尼苏达 | 0.02 | 不 | 0.7 |
| ND | < 0.01 | Ti | 1.1 |
| Y | < 0.01 | Zr | 0.01 |
| 哦- | 170 | ||
| 物理特征 | 热特性 | ||
|---|---|---|---|
| 比重 | 2.2克/厘米3 | 扭曲点 | 1090°C |
| 弯曲强度 | 69公斤帕 | 退火温度 | 1190°C |
| 剪切强度 | 69公斤帕 | 突变点 | 1730°C |
| 抗压强度 | > 1100公斤帕 | ||
| 青年率 | 73GPa | ||
| 刚度模量 | 31GPa | ||
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| 半导体氧化和扩散工艺用晶圆板 | 晶圆盒 | 威弗·查克 | ||
|---|---|---|---|---|
![]() 横板 | ![]() 12英寸竖板 | ![]() 8英寸竖板 | ![]() | ![]() |
| 石英盖 | 夹紧 | 石英浴 | 加热器支持 | 石英加工示例 |
![]() | ![]() | ![]() | ![]() | ![]() |
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