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更新时间：2026-05-22sakaguchi坂口电热POCO 超级碳化硅
sakaguchi坂口电热POCO 超级碳化硅
SUPER SiC由POCO开发，与烧结SiC不同，它不使用烧结剂等结合剂。
由于高纯度碳通过化学转化为硅化碳，颗粒和污染极少，因此广泛应用于半导体制造中的载体。
100%纯硅碳产品
：POCO的高纯度新型碳基材通过独特的转化工艺转化为硅碳，因此在任何使用条件下都不会产生杂质。
结构抗强酸性：与
石英不同，即使在强酸洗涤中使用时，石英也不会腐蚀。 由于其可观的体积稳定性，它也有助于降低性价比。
高精度加工成为可能。通过将
加工基材转化为硅化硅，可以生产形状复杂的碳化硅产品。
抑制
颗粒和污染。结构使颗粒易于附着且抗剥落。 因此>粒子可减少超过50%的0.5微米<0.5微米时可减少超过10%。 它还显著减少了金属污染。
可在
最高1900°C的温度下使用：SUPERSiC可在特定环境（氮气大气、氩气大气、氦气大气）下运行于1900°C。
| 密度 | 热膨胀系数 | 热导率 |
|---|---|---|
| 2.56克/厘米3 | 4.9×10-6/°C | 44.1 w/m·K |
| 超级硅谷 | QZ（石英） | ||
|---|---|---|---|
| 粒子 *1 | 0.5~5.0μm | 10~40 | 100 |
| 0.35~0.5μm | 60~90 | 100 | |
| 污染 *2 | 碱金属 | 2~4×109 | 1~2×1010 |
| 重金属 | 2×1010 | 1×1011 | |
| 晶圆尺寸 | 水平载体 | 垂直载波 | 假晶圆 |
|---|---|---|---|
| 100毫米（4英寸） | ○ | － | ○ |
| 125毫米（5英寸） | ○ | － | ○ |
| 150毫米（6英寸） | ○ | ○ | ○ |
| 200毫米（8英寸） | ○ | ○ | ○ |
| 300毫米（12英寸） | － | － | ○ |
本文产品技术资料均来源于日本坂口电热株式会社原厂资料。
我司深圳电商商业股份有限公司为坂口电热中国区正规授权代理商，可提供本产品及坂口电热全系列加热产品的原厂直供、选型适配、定制开发与全流程技术支持，所有产品均为原厂产品，可溯源可查验。
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