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产品型号：
更新时间：2026-05-22sakaguchi坂口电热POCO FABMATE
sakaguchi坂口电热POCO FABMATE
Fabmate“FABMATE"是Pocographite开发的产品，采用石墨基超高纯度碳，经过精确加工成指定形状，然后在表面进行非晶碳处理。
该工艺进一步增强了其固有性能，使其寿命延长至石英的十倍以上，并利用这些特性应用于半导体制造中的笼状板和塔板。
采用超高纯度100
级清洁度制造的产品非常适合半导体等需要清洁环境的行业。
结构抗强酸：它能抵抗氟酸和清洁过程中的
腐蚀性气体，是石英的理想替代品。
高温适用：在惰性大气中可使用至2500°C
，大气条件下可达510°C。
零件可更换：
塔板、规矩板及类似物品为单元式设计，即使部分板块损坏仍可部分更换，经济实惠。
| 等级 | DFP-1 | DFP-2 | DFP-3 | |
|---|---|---|---|---|
| 强度（室温） | 压缩（kg/cm²） | 1,500 | ||
| 弯曲（kg/cm²） | 900 | |||
| 拉伸（kg/cm²） | 700 | |||
| 硬度 | 77 | |||
| 平均颗粒直径（μm） | <4 | |||
| 电阻率（21°C）（μΩcm） | 1,350 | |||
| 热导率（21°C）（千卡/毫时摄氏） | 104 | |||
| 热膨胀系数（RT-1000°C）（×10h-6h/°C） | 8.4 | |||
| 平均孔径（μm） | 0.8 | 0.8 | 0.3 | |
| 平均密度（g/cm²） | 1.82 | 1.82 | 1.86 | |
| 氧化开始时间（°C） | 460 | 510 | 470 | |
| PPM-总灰分 | 700 | <5 | 700 | |
| 大气 | O2 | CO2 | H2 | N2 | 阿尔 |
|---|---|---|---|---|---|
| 最高工作温度 | 510°C | 750°C | 1100°C | 1500°C | 2500°C |
塔楼板
轨距板
晶圆载流子
LPCVD磁带
电子束的Rutsubo
气体注入管
热空气发生器的元件
永恒种植者部件
本文产品技术资料均来源于日本坂口电热株式会社原厂资料。
我司深圳电商商业股份有限公司为坂口电热中国区正规授权代理商，可提供本产品及坂口电热全系列加热产品的原厂直供、选型适配、定制开发与全流程技术支持，所有产品均为原厂产品，可溯源可查验。
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