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更新时间：2026-05-22sakaguchi坂口电热激光平面瞬时加热装置
sakaguchi坂口电热激光平面瞬时加热装置
ExLASER® 是一种多功能激光平面瞬时加热装置。
特色
超高速加热和制冷能力可行。
一次均匀加热2英寸基材
直接加热只能对被加热的物体进行
可以根据工艺进行温度调节
在不加热大气的情况下实现节能
MBE设备的基底加热
晶圆退火（硅硅、砷化硅等）
多层结构器件的表面退火是可能的（支持微型化器件）
使用EXL-CT-010DS55，将放入真空腔体内的样品进行激光加热。 温度分布从样品背面（激光照射面相对）测量。
| 型号：EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| 激光照射法 | 直接类型 | 主单位规模 | 高625毫米×宽700毫米×深320毫米 |
| 激光输出 | 最大功率1千瓦 | 配件 | 专用冷水机 |
| 激光波长 | 808纳米 | 定格画面 | 主机：1P200V20A 冷水机组：1P200V15A |
| 激光形状 | 正方形 | ||
| 光学（均匀度数） | 均质剂（±5%） | 注释 | JST原创建模 开发产品（17财年） |
| 加热区域 | □ 55毫米 | ||
| 工作距离 | 400毫米~ | ||
*以上为标准规格。 客户可根据要求进行更改。
真空室
温度控制单元 ・辐射温度计
・数字指示
调节表 ・红外透射窗
板架（用于2英寸板）
便利店光学系统，专用板架（兼容□10毫米板）
各种基底（蓝宝石、硅、砷化镓等）
本文产品技术资料均来源于日本坂口电热株式会社原厂资料。
我司深圳电商商业股份有限公司为坂口电热中国区正规授权代理商，可提供本产品及坂口电热全系列加热产品的原厂直供、选型适配、定制开发与全流程技术支持，所有产品均为原厂产品，可溯源可查验。
如需获取产品详细规格、定制方案与报价，可直接联系我们的技术顾问。
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