sakaguchi坂口电热激光氢退火装置
通过硅微结构的原子级平滑和四舍五入控制，实现MEMS器件在各领域和应用中的高性能和高可靠性！ >
东北大学 我们已商业化了一项利用氢气大气退火的三维结构平滑和圆角技术，采用原子抗锯齿退火（AAA）技术，该技术由东北大学、AIST及极简制造促进组织合作开发，通过30~2财年支持项目开发。

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